光学式エンドポイントディテクタ

装置概要

エッチングプロセスをリアルタイム監視
終点検出する高精度ディテクタ

Verity社の分光計（Spectrograph SD1024/SD2048シリーズ）が、あらゆるドライエッチングと、さらにイオンビームエッチングの終点検出を実現。精度の高いプロセス管理に不可欠なシステムです。

対応プロセス

光学式エンドポイントシステムSpectrograph SD1024シリーズは、エッチングプロセスをリアルタイムにモニタリングすることができます。層間への到達を正確に検出し、歩留まり向上とプロセス安定化に貢献します。

対応アプリケーション	プラズマエッチング、イオンビームエッチング、アッシング/フォトレジスト除去、プラズマイオン注入、CVD、CMP、ベベルエッチング、反応性スパッタリング
導入分野	半導体プロセス

装置の特長

最先端の検出アルゴリズムとソフトウェア制御

リアルタイムモニタリング

光学式エンドポイントシステム Spectrograph SD1024シリーズは、エッチングプロセスをリアルタイムにモニタリングすることができます。

ソフトウェア機能

付属のSpectraViewソフトウェアで採取したスペクトルデータをモニタリング、解析、エンドポイント検出アルゴリズムの設定を行います。

高度なアルゴリズム

Verity社独自のエンドポイントトレース生成アルゴリズム、EP DesignerやNeural Networkを用いた検出アルゴリズムなど、優れたアルゴリズムが微細プロセスをサポート。

信頼性とシステム連携

SpectraView^TMでは、RS232C/Digital I/O/Ethernetといった様々なプロトコルに対応しており、ニーズに合った通信プロトコルを提供します。

EP Designer 複合波長アルゴリズム

時間枠内の複合波長から膜種が想定可能なライブラリを搭載

仕様とラインナップ

SD1024シリーズエンドポイントディテクタ

本装置はSD1024シリーズとして提供され、ハードウェア仕様はGシリーズ（Windows PCコントロール）とXシリーズ（PC内蔵型）の2タイプがあります。
SD1024シリーズエンドポイントディテクタは、以下のハードウェア仕様で構成されます。

ハードウェア仕様
Gシリーズ、Xシリーズ

タイプ
SD1024/SD2048などのモデルをラインナップ

ハードウェア仕様

Gシリーズ（Windows PCコントロール）

タイプ	SD1024G/GH	SD2048GH	SD1024GM	SD2048GM	SD1024GL	SD2048GL	SE1024GL-CMOS
CCD仕様	74mm²裏面入力型冷却タイプ		25mm²高感度紫外ダイナミックレンジタイプ		5.7mm²高感度紫外ダイナミックレンジタイプ		5.7mm²高感度紫外タイプ
分解能	< 1.87nm	< 1.0nm	< 1.87nm	< 1.0nm	< 2.0nm	< 1.0nm	< 2.0nm
最小露光時間(standard A/D)	13ms	7ms	2ms	2ms	6ms	6ms	2ms
波長範囲	200 ~ 800nm or 200 ~ 900nm				200 ~ 800nm
サイズ(mm)	H 142 × W 137.2 ×L 259						H 102 × W 137.2 × L 191
重さ	3kg						1.6kg
ファイバー	Verity社特注				SAM905
入力ch数	最大8 fiber		最大3 fiber		1 fiber
I/F	USB or Ethernet
電源仕様	20 – 28 VDC、45W

Xシリーズ（PC内蔵型）

タイプ	SD1024X/XH	SD2048XH	SD1024XM	SD2048XM	SD1024XL	SD2048XL
CCD仕様	74mm²裏面入力型冷却タイプ		25mm²高感度紫外ダイナミックレンジタイプ		5.7mm²高感度紫外ダイナミックレンジタイプ
分解能	< 1.87nm	< 1.0nm	< 1.87nm	< 1.0nm	< 2.0nm	< 1.0nm
最小露光時間(standard A/D)	13ms	7ms	2ms	2ms	6ms	6ms
波長範囲	200 ~ 800nm or 200 ~ 900nm				200 ~ 800nm
サイズ(mm)	H 142 × W 137.2 × L 259					H 102 × W 137.2 × L 191
重さ	3.4kg					1.6kg
ファイバー	Verity社特注				SAM905
入力ch数	最大8 fiber		最大3 fiber		1 fiber
I/F	USB or Ethernet
電源仕様	20 – 28 VDC、45W

SP2100　分光式リフレクトメータ

主な機能
SD1024とキセノンランプを組み合わせ、ウェハー上の薄膜などを測定します。

設計用途
エッチングやCVDアプリケーションでの膜厚の処理中（in-situ）計測や、CMPでの金属またはトランジションブレイクスルー用に設計。

項目	詳細
波長範囲	標準：225 – 800nm オプション：< 225 – 800nm
測定アルゴリズム	フリンジカウント、反射率モデルベースアルゴリズム対応
環境対応	RoHS指令対応

SD1024スペクトロメータの特長

・優れたUV感度
・優れたS/N比
・広ダイナミックレンジ
・多重光ファイバー入力が可能(アプリケーションによる)

フラッシュランプの特長

・プラズマの差分によるその場計測（in-situ）を実現
・移動ウェハーの場合の固定画像イメージの取得が可能
・優れたS/N比での高輝度を実現

SpectraView^TMの特長

・安定したエンドポイント検出
・エッチング深さや膜厚アルゴリズムに対応
・柔軟なオープンアルゴリズムとシーケンスを提供
・イーサネット、RS232、DI/O経由のツール統合をサポート

SD512GR　近赤外光分光装置

主な機能
終点検出、障害検出、プロセス診断、そして分光反射率計測装置の一部として利用可能です。

化学分野への応用
化学反応モニタリング、化学品/医薬中間体や完成化学品医薬品の品質検査に活用できます。

項目	詳細
波長範囲	900～1700nmに対応

光学式エンドポイントディテクタ