検査測定機器

マイクロ波や強電磁界環境下でも、電磁界の影響を受けずに正確な温度測定が可能。ラボ・組み込み向けなど、用途に合わせたユニットをご提供します。

Verity社の分光計を用い、あらゆるドライエッチングやイオンビームエッチングの終点検出を実現。独自のアルゴリズムで微細プロセスをリアルタイムでサポートします。