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真空用周辺機器
真空用周辺機器
真空技術を支える、信頼性の高い真空装置用冷凍機および、高精度な成膜・加工を可能にするイオンソースをご提供しています。
SUPPORT
フロン規制対応・法定点検サポート法令で定められた定期点検・簡易点検の実施と、
最適なフロン対策をご提案します。
フロン排出抑制法により、CFC、HCFC、HFCガスを使用している真空装置用冷凍機は規制と管理の対象になります。
定期的な点検義務や、ガス漏れ時の報告義務など、適切なフロン対策をご支援しています。
