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真空ポンプ
真空ポンプ
概要
磁気浮上ターボ分子真空ポンプ:STPシリーズ
半導体プロセスツールをはじめとして、現在、世界中に130,000台以上が稼働している業界スタンダードです。(排気速度:300~4,500L/s)
イオンポンプ:GAMMA シリーズ
質量分析計から粒子加速器に至るまで、さまざまなアプリケーションで高真空(HV) や超高真空(UHV)環境を提供します。
油回転ポンプ:RV(小型) EM(中型、大型)シリーズ
RVシリーズのロータリ ベーン ポンプは、75年以上の経験が集約されています。(排気速度:3~12m3/h)
EMシリーズ ポンプは、一般産業用途向けの堅牢なポンプです。(排気速度:40~275m3/h)
メカニカルブースターポンプ:EHシリーズ
経済性、性能、コンパクト性の点で効率的な動力伝達を実現するユニークな動圧駆動を特徴としています。ブースターポンプの後段を排気するポンプと同時に起動することができる為、ポンプのダウン時間を短縮する事ができます。
スクロールポンプ:nXDSシリーズ
最新の設計機能を備えた、クラス最高のパフォーマンスを備えています。
ドライ真空ポンプシステム:iXHシリーズ
過酷なプロセス向けドライポンプ。世界中の300mm半導体工場やフラット パネル ディスプレイ製造工場にて各種プロセスに貢献しています。
産業用ドライポンプ:GXSシリーズ
堅牢性と信頼性のある動作を誇り、広範な通信・自動化制御機能を実現するオンボードコントローラーを備えています。産業アプリケーション向けとして経済的な真空ポンプとなっています。
小型真空排気ユニット:TURBO LAB
小型ポンプシステムのアプリケーションにおいて、これまでになかった多様な接続性と、その優れたポンプ能力は、研究開発の用途に最も適しています。
油回転ポンプ:SOGVACシリーズ
マルチベーン(3枚羽)シングルステージの構造は、一般産業分野における最も過酷なアプリケーションに適しています。
小型空冷ドライポンプ:ECODRY Plus
ラボ環境をより静かに!をコンセプトにクラス最高レベルの低騒音、低振動を実現した新型空冷ドライポンプです。
ルーツポンプ:RUVACシリーズ
3つのシリーズは、お客様の最も適したアプリケーションをご提案いたします。RUVAC WA/WAU、RUVAC WS/WSU、RUVAC WH/WHUです。
ドライポンプ:SCREWLINE SPシリーズ
スクリューテクノロジーを採用しています。空冷仕様ドライポンプは、面倒な水冷配管設備を必要としません。更に防爆環境に対応したATEX 認定バージョンもございます。
リークディテクタ:PHOENIX Quadro
デザインを一新。180°磁場偏向型質量分析計を備えたヘリウムリークディテクタで、正確で信頼性の高いリークレート測定が可能です。5×10-12mbarl * l / sの最小可検リーク量。コンパクトで可動性のリークディテクタ。
スクロールポンプ:ISPシリーズ
(トップランナーIE3(高効率)モーター搭載ポンプ)
オイル不要で「低振動」「低騒音」の特長から加速器・放射光施設、各種分析装置、ガス回収等の用途等、様々な分野でお使いいただいています。(排気速度:50~1000L/min)
スクロールポンプ:SDMシリーズ
ISPシリーズより「低騒音」「低振動」「メンテナンスサイクルも延長」なドライ真空ポンプです。320L/minクラス、各種分析装置や加速器・放射光施設等の用途に最適です。
スクロールポンプ:DVSLシリーズ(エスドライ)
トップランナーIE3(高効率)モーター搭載ポンプが新登場!水蒸気排気に強い事を特長としています。脱気脱泡、真空乾燥、漏れ検査等のタフな用途に最適です。(排気速度:100~1000L/min)
磁気浮上ターボ分子真空ポンプ:STPシリーズ
グリス潤滑玉軸受を採用し、小型・軽量・低コストを実現しました。 また、耐衝撃性が高く、可搬式装置や装置の可動部へのTMP搭載が可能です。(排気速度: 50L/s ~ 2400L/s)
油回転真空ポンプ:Pシリーズ
採用している揺動ピストン形は、耐久性に優れ効率的排気が可能です。(排気速度:90~900m3/h)
ルーツ真空ポンプ :RA/RDシリーズ
モータ直結型ルーツ真空ポンプは、コンパクト設計の為、システムとしてまとめる事が容易にできます。
油拡散真空ポンプ:ESV Series (small model)
超高真空領域から高・中・真空領域まで安定した圧力を得るためにESV-6以下は環状ヒータ、ESV-8以上は内熱式シーズヒータを採用し、超高真空下の油の突沸による圧力揺動を防いでいます。(排気速度:380~4,500L/s)
スクリュー式ドライ真空ポンプ:MDP/MDP-Vシリーズ(省エネ仕様)
世界で認められたMDPシリーズに 待望の『V』シリーズが加わりました。 MDPシリーズの高耐久性に、省エネ性能を向上させランニングコストを大幅にダウンする事が可能です。(5,500~27,000L/m)
スクリュー式ドライ真空ポンプ:BEHシリーズ
マイコン制御により運転状態を精密に制御する事が可能。低速回転で高性能を発揮するCVD・PVD・エッチング・スパッタリングプロセス等あらゆるプロセス用に最適です。(排気速度:5,000~60,000L/m)
高真空ポンプ油/ロータリーポンプ油
MRシリーズ(石油系/無添加)、耐熱シリーズ(石油系/添加)、Sシリーズ(合成系/無添加・添加)、特殊系シリーズ(石油系/添加)
コールドカソードピラニゲージ M-361CP
大気圧~中真空を測定するピラニゲージと、高真空~超高真空を測定するコールドカソードゲージを組み合わせたコンビネーションゲージです。1台で広い圧力領域を測定可能です。
ミニUHVゲートバルブ Series 01.0
UHVから高度なアプリケーション までの多用途バルブ(DN25-50)
高真空ゲートバルブ Series 09
真空封止アプリケーションに最適。 特に堆積物の多いアプリケーションに適しています(DN50-250)
UHVゲートバルブ Series 10
研究開発および産業の UHVアプリケーションの標準バルブです。(DN63-320)
各種真空フランジ(ISO-K、ICF、JIS)及び特注配管接手部品
真空機器に欠かせないフランジ等の配管部品を自社生産しています。様々な配管部品の即納体制を確立。真空ポンプご導入にあたってもよりスムーズな設備稼働が可能です。自社工場直売ですからコストパフォーマンスも大変高く、多くのお客様から好評をいただいております。東大阪(高井田)工場では、オリジナル部品やその他の金属部品加工の設計・製造も行っています。
