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イオンビームエッチング対応光学式エンドポイントディテクタ
イオンビームエッチング対応光学式エンドポイントディテクタ
エッチングプロセスをリアルタイム監視し終点検出する高精度ディテクタ
Verity社の分光計（Spectrograph SD1024/SD2048シリーズ）が、あらゆるドライエッチングと、さらにイオンビームエッチングの終点検出を実現します。精度の高いプロセス管理に不可欠なシステムです。
装置概要
装置の役割と応用範囲
エッチングプロセスをリアルタイムにモニタリングし、層間や基板への到達を正確に検出。歩留まり向上とプロセス安定化に貢献します。
対応アプリケーション
プラズマエッチング、イオンビームエッチング、アッシング/フォトレジスト除去、プラズマイオン注入、CVD、CMP、ベベルエッチング、反応性スパッタリングなど、幅広いプロセスに対応します。
装置の特長
最先端の検出アルゴリズムとソフトウェア制御
EP Designer複合波長アルゴリズム
時間枠内の複合波長から膜種が想定可能なライブラリを搭載しています。高い検出能力で、微細プロセスを正確にサポートします。
独自のアルゴリズム
Verity社独自のエンドポイントトレース生成アルゴリズム、EP DesignerやNeural Networkを用いた検出アルゴリズムなど、優れたアルゴリズムが微細プロセスをサポートします。
高い信頼性と低コスト運用
検出性能
EPD可能なSNレベルに躍進し、高い検出能力を誇ります。
低コスト
検出器劣化がほぼ無く、安価なメンテナンスコストで運用が可能です。
容易な選定
Off line reprocessで簡単な条件選定が可能です。
柔軟なシステム構成とモニタリング
リアルタイムモニタリング
SpectraView™ソフトウェアで採取したスペクトルデータをモニタリング、解析、エンドポイント検出アルゴリズムの設定を行います。
通信対応
RS232C/Digital I/O/Ethernetといった様々なプロトコルに対応し、既存装置へのツール統合が容易です。
Spectrograph
Gシリーズ（Windows PCコントロール）
| タイプ | SD1024G/GH | SD2048GH |
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Xシリーズ（PC内蔵型）
| タイプ | SD1024G/GH | SD2048GH |
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システム構成
